傳感器敏感材料技術(shù)

作為精密設(shè)備儀器制造的“核心秘鑰”

曾因長期被國外企業(yè)壟斷

導致國產(chǎn)設(shè)備面臨“測得慢”“測不準”等痛點

格力集團被投企業(yè)

飛思儀表（深圳）有限公司

（簡稱飛思儀表）

憑借超20年的傳感器技術(shù)研發(fā)經(jīng)驗

率先突破氣體露點敏感材料技術(shù)

研發(fā)出一批性能高、可靠性強、精度高、成本低的

量產(chǎn)傳感器及智能化儀器高端儀表

露點又稱露點溫度，是用來衡量氣體絕對濕度的方式之一，被稱為工業(yè)領(lǐng)域的“隱形殺手”。例如在飛機發(fā)動機葉片焊接時，使用氬弧焊的氬氣如果濕度過高，會導致焊點發(fā)黑、葉片變脆、耐溫性變差，進而引發(fā)事故。作為露點測量技術(shù)的關(guān)鍵組成部分，傳感器敏感材料的性能直接決定了其測量精度，進而關(guān)系到工業(yè)運行的效率、安全性和產(chǎn)品質(zhì)量。

據(jù)陳行柱介紹，露點測量需要在極低濕度條件下保持高精度，且測量環(huán)境可能存在著溫度波動、振動、化學氣體干擾等不確定因素，因此對傳感器材料的靈敏度和穩(wěn)定性有著極高要求。目前市場主流的技術(shù)解決方案包括高分子材料、氧化鋁材料、QCM（石英晶體）等，但長期被芬蘭、英國等國企業(yè)壟斷，國內(nèi)企業(yè)大多采購國外露點傳感器進行二次集成，關(guān)鍵技術(shù)受制于人。

在攻克露點敏感材料技術(shù)難題后，飛思儀表堅持自主創(chuàng)新，相繼突破了微機電系統(tǒng)、精密加工與封裝、高端測試設(shè)備、算法與軟件技術(shù)等多重技術(shù)壁壘。針對工業(yè)氣體處理、壓縮空氣系統(tǒng)、環(huán)境監(jiān)測、冷鏈與儲存、發(fā)電與能源等不同應(yīng)用場景，飛思儀表研發(fā)出全測量方案，其產(chǎn)品均達到國內(nèi)外頂尖水平，實現(xiàn)了從單一產(chǎn)品到系列產(chǎn)品的全面趕超。

2020年，飛思儀表成功研發(fā)出超快響應(yīng)速度的α相氧化鋁濕敏材料，采用多孔結(jié)構(gòu)，可檢測微量水分，響應(yīng)速度與歐美知名企業(yè)產(chǎn)品相比可提升10倍以上，性能達到全球品牌領(lǐng)先水平，填補了我國此項技術(shù)領(lǐng)域的空白。

同時，飛思儀表專注氣體品質(zhì)相關(guān)領(lǐng)域。陳行柱表示，國內(nèi)主流流量計產(chǎn)品在高精度、低流量范圍以及復雜環(huán)境下中的存在技術(shù)短板，飛思儀表運用最合適的氣體流量測量原理，近年來研制出差壓流量計、熱式質(zhì)量流量計、渦街流量計等多款主流產(chǎn)品。

▲飛思儀表專注氣體品質(zhì)相關(guān)領(lǐng)域

以熱式質(zhì)量流量計為例，市面上多數(shù)產(chǎn)品仍以傳統(tǒng)的電橋模擬電路計算加熱元件熱量損失，但設(shè)備在加熱狀態(tài)下會發(fā)生參數(shù)變化（即零點漂移），無法確保低流量的測量精確度。針對這一痛點，飛思儀表自主研制的FixInst F211系列熱式質(zhì)量流量計采用全數(shù)字化采樣及控制技術(shù)，徹底消除了測量零點漂移，并實現(xiàn)了“全球最寬”的測量范圍。另一款由其自主研制的差壓流量計，具備全球首創(chuàng)的在線自動校準功能，可減少傳感器老化帶來的數(shù)據(jù)漂移，同時擁有抗冷凝水、抗污染等專利技術(shù)，測量下限低至5Nm/s。

▲飛思儀表FixInst F211系列產(chǎn)品計測量精準、量程寬

進軍全球高端儀器儀表市場

在以智能化、信息化為特征的工業(yè)4.0時代，儀器儀表作為物質(zhì)世界信息獲取、傳輸和轉(zhuǎn)換、探測和控制的重要工具，是實現(xiàn)信息化和工業(yè)化深度融合的重要源頭。在無線數(shù)據(jù)傳輸與遠程監(jiān)控方面，飛思儀表引入物聯(lián)網(wǎng)（IoT）技術(shù)，實現(xiàn)無線實時數(shù)據(jù)傳輸和遠程監(jiān)控，支持工業(yè)4.0環(huán)境下的智能化應(yīng)用，同時系統(tǒng)支持多協(xié)議兼容，便于與不同客戶的現(xiàn)有系統(tǒng)集成。

為加快產(chǎn)品研發(fā)和市場導入，飛思儀表計劃在珠海高新區(qū)格創(chuàng)·芯谷建設(shè)具備半導體材料及MEMS傳感器研發(fā)能力的國內(nèi)先進傳感器研發(fā)中心和生產(chǎn)基地，并同步建立廣東省量程最大（15000m3/h）的氣體流量實驗室。談及為何選擇珠海，陳行柱表示，珠海擁有相對完善的產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)設(shè)施和產(chǎn)業(yè)鏈配套，尤其在高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)、電子制造、智能制造等方面已有較為成熟的產(chǎn)業(yè)集群，可幫助公司降低生產(chǎn)成本、拓展市場布局。

▲飛思儀表將在珠海格創(chuàng)·芯谷建立研發(fā)中心和生產(chǎn)基地

“近年來珠海大力發(fā)展高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)，特別是在電子、半導體、智能制造、環(huán)保和新能源等領(lǐng)域，政府明確提出為企業(yè)提供各類應(yīng)用場景，有助于我們測量儀器產(chǎn)品的應(yīng)用與發(fā)展。”陳行柱介紹，公司將以落地珠海為新起點，不斷提升技術(shù)研發(fā)能力和產(chǎn)品核心競爭力，同時積極布局全球業(yè)務(wù)、加快打入全球高端儀器儀表市場，繼續(xù)為全球客戶提供更加優(yōu)質(zhì)、可靠的測量解決方案，在激烈的全球化競爭中搶占先機、贏得主動。